亦稱暗視野顯微鏡。超過普通光學顯微鏡的析像能力，能觀察到0.2—0.004納米微粒子的光學顯微鏡。由于特別設計的遮光板，各種型號的聚光鏡與數(shù)值孔徑小的物鏡或限制式物鏡的配合，遮斷了直接照明光，只觀察到碰上微粒子后的反射光或衍射光。能看到生物的細微結構或膠體粒子的存在。另外還有在顯微鏡的光軸上直角地將微光束直接照射到實驗材料上的方法。